Проблемы науки и технического прогресса. Микроэлектроника: достижения и пути развития
| Автор(ы): | Валиев К. А.
03.04.2023
|
| Год изд.: | 1986 |
| Описание: | Книга посвящена развитию технической базы систем переработки информации - микроэлектронным интегральным схемам и их технологии. Показан путь, пройденный микроэлектроникой за 2 5 лет ее развития от создания схем малой степени интеграции до сверхбольших схем. Большое внимание уделено новейшим направлениям развития микроэлектроники и молекулярной электроники. Рассматриваются различные виды кремниевых интегральных схем, а также вопросы обеспечения их надежности и методы проектирования. Анализируются как достижения, так и нерешенные проблемы новых направлений микроэлектроники. |
| Оглавление: |
Обложка книги.
Предисловие [7] Глава 1. Тенденции развития микроэлектронных интегральных схем [9] 1.1. Конструкция и параметры интегральных схем [9] 1.2. Законы масштабирования (скейлинга) [14] 1.3. Ограничение быстродействия СБИС задержкой сигналов в соединениях [20] 1.4. Архитектурные типы ИС [26] 1.5. Стандартные ИС [27] 1.6. Микропроцессорные комплекты БИС [29] 1.7. Полузаказные и заказные БИС на матрицах логических ячеек [31] 1.8. Полузаказные БИС на стандартных ячейках [32] 1.9. Заказные (специализированные) БИС [33] 1.10. Субсистемы на целой пластине [34] 1.11. Трехмерные интегральные схемы [37] 1.12. САПР БИС: от проектирования с помощью ЭВМ к кремниевому компилятору [43] 1.13. Проблемы обеспечения надежности кремниевых ИС [48] Глава 2. Микроэлектронные приборы на материалах AIHBV [57] 2.1. Приборы на арсениде галлия (GaAs) [57] 2.2. Молекулярно-лучевая эпитаксия [60] 2.3. Приборы с гетеропереходами. Полевой транзистор на электронах с высокой подвижностью [61] 2.4. Гетеропереходные биполярные транзисторы (ГПБТ) [64] 2.5. Транзистор с проницаемой базой [67] 2.6. Гетеропереходный туннельный транзистор на горячих электронах (ТТГЭ) [68] 2.7. Сверхрешетки: синтетические полупроводники [70] Глава 3. Сверхинтегрированные устройства памяти [72] Глава 4. Криомикроэлектроника на сверхпроводниках [76] Глава 5. Физические ограничения в микроэлектронных приборах [82] Глава 6. Молекулярная электроника: идеи и проблемы [89] Глава 7. Некоторые проблемы технологии микроэлектроники [95] 7.1. Основные технологические процессы маршрута изготовления СБИС [95] 7.2. Литографические системы микроэлектроники [102] 7.3. Электронно-лучевые системы литографии [105] 7.4. Ионно-лучевые литографические системы [115] 7.5. Проекционные системы переноса изображения с шаблона на пластину [120] 7.6. Системы теневого экспонирования [127] Заключение [135] Список литературы [136] |
| Формат: | djvu + ocr |
| Размер: | 4305223 байт |
| Язык: | РУС |
| Рейтинг: |
158
|
| Открыть: | Ссылка (RU) |