Техника сверхвысокого вакуума
Автор(ы): | Уэстон Дж. Ф.
06.10.2007
|
Год изд.: | 1988 |
Описание: | В книге крупного специалиста из Великобритании рассмотрены вопросы теории и практики сверхвысокого вакуума. Представлены сведения о материалах, используемых в условиях вакуума, средствах получения и сохранения высоких степеней разрежения и способах измерения давлений. Описаны методы контроля герметичности. Рассмотрены некоторые модели новейшего научного и промышленного оборудования. Для специалистов в области вакуумной техники, а также для широкого круга экспериментаторов, работающих в смежных областях техники и использующих вакуум в своей практической деятельности. |
Оглавление: |
От переводчика [5] Предисловие [7] 1. Введение. Основные законы и понятия, относящиеся к вакуумной технике [9] 1.1. Свойства вакуума [9] 1.2. Молекулярно-кинетическая модель вакуума [11] 1.3. Течение газа в вакуумных системах [15] 1.4. Откачка вакуумных систем [18] 1.5. Источники газа в вакуумной системе [21] 2. Материалы высоковакуумных систем [32] 2.1. Требования к материалам в системах сверхвысокого вакуума [32] 2.2. Стекло [34] 2.3. Металлы [46] 2.4. Керамики [61] 2.5. Другие материалы [70] 2.6. Способы изготовления герметичных неразъемных соединений [76] 3. Насосы [93] 3.1. Введение [93] 3.2. Диффузионные насосы [94] 3.3. Турбомолекулярные насосы [103] 3.4. Адсорбционные насосы [111] 3.5. Криогенные насосы [121] 3.6. Сублимационные и геттерные насосы [128] 3.7. Ионные насосы [137] 3.8. Критерии выбора вакуумных насосов [154] 4. Измерение полных давлений [160] 4.1. Введение [160] 4.2. Ионизационные вакуумметры [162] 4.3. Динамические и радиометрические вакуумметры [187] 4.4. Градуировка вакуумметров [192] 5. Измерение парциальных давлений [200] 5.1. Введение [200] 5.2. Основные параметры масс-спектрометров [202] 5.3. Источники ионов [207] 5.4. Статические масс-спектрометры [210] 5.5. Динамические масс-спектрометры [220] 5.6. Регистрация ионов [238] 5.7. Градиуровка и характеристики масс-спектрометров [245] 6. Конструкционные элементы высоковакуумных систем [252] 6.1. Общие сведения [252] 6.2. Разъемные соединения [253] 6.3. Механические вакуумные вводы и подвижные уплотнения [260] 6.4. Клапаны [267] 6.5. Вспомогательное вакуумное оборудование [275] 6.6. Система подпитки жидким азотом [276] 7. Вакуумные системы [280] 7.1. Введение [280] 7.2. Общие требования, предъявляемые к вакуумным системам [280] 7.3. Откачка системы. Общие сведения [282] 7.4. Общие методы конструирования вакуумных систем [289] 7.5. Примеры применения сверхвысокого вакуума [302] 8. Течеискание [318] 8.1. Основные методы (общие сведения) [318] 8.2. Требования к степени герметичности вакуумных систем [320] 8.3. Вакуумометрический метод [325] 8.4. Метод обнаружения течей при помощи ионного насоса [328] 8.5. Галогенный метод [329] 8.6. Масс-спектрометрический метод [331] 8.7. Градуировка масс-спектрометрических течеискателей [335] Приложения [340] Литература [348] Предметно-именной указатель [357] |
Формат: | djvu |
Размер: | 4265972 байт |
Язык: | РУС |
Рейтинг: | 128 |
Открыть: | Ссылка (RU) |